特許
J-GLOBAL ID:200903025935143975
液体注入装置及び液体注入方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三好 秀和 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-270740
公開番号(公開出願番号):特開2003-086173
出願日: 2001年09月06日
公開日(公表日): 2003年03月20日
要約:
【要約】【課題】 経時変化によるポリマバッテリの容器への注液量の変化を迅速且つ自動的に是正して常に所定の注液量を維持すること。【解決手段】 定量吐出装置から吐出される液体を配管を通して真空チャンバ内の容器に注入する際に、前記容器に注入された前記液体の注液量が常に目標値になるように、制御装置によって前記定量吐出装置のピストンのストロークを調整する。
請求項(抜粋):
定量吐出装置から吐出される液体を配管を通して真空チャンバ内の容器に注入する液体注入装置において、前記容器に注入された前記液体の注液量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定された注液量が目標値になるように前記定量吐出装置の液体吐出機構を調整する制御手段と、を具備することを特徴とする液体注入装置。
IPC (3件):
H01M 2/36 101
, H01M 2/36
, B67D 5/02
FI (3件):
H01M 2/36 101 L
, H01M 2/36 101 J
, B67D 5/02 Z
Fターム (8件):
3E083AA20
, 3E083AB21
, 3E083AC01
, 3E083AE08
, 5H023AA03
, 5H023BB10
, 5H023CC24
, 5H023CC25
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