特許

J-GLOBAL ID：200903025942977008

カラーフィルタの形成方法

発明者： 加藤 喜久
出願人/特許権者： カシオ計算機株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-166299
公開番号（公開出願番号）：特開平9-015417
出願日： 1995年06月30日
公開日（公表日）： 1997年01月17日
要約：

【要約】【目的】カラーフィルタの断面形状の両側面を最適な傾斜面を有する台形状にすることにより、このカラーフィルタの上部に形成される薄膜等に欠陥を生じさせず、かつ良好な色特性が得られるカラーフィルタの形成方法を提供する。【構成】感光性のカラーレジスト膜2を露光マスク4を介して露光した後、現像処理して、所定パターンのカラーフィルタを形成する方法であって、カラーレジスト膜2の露光中に、露光台1を上下に移動してカラーレジスト膜2と露出マスク4との間隔を変化させることにより、カラーレジスト膜2が、前記間隔の変化に応じた強度分布の光で露光される。そして、カラーレジスト膜2に対してこの光強度分布が最適に制御される。

請求項（抜粋）：

感光性カラーレジスト膜を露光マスクを介して露光した後、現像処理して、所定パターンのカラーフィルタを形成する方法において、前記カラーレジスト膜の露光中に、前記カラーレジスト膜と前記露出マスクとの間隔を変化させることを特徴とするカラーフィルタの形成方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 511