特許
J-GLOBAL ID：200903025943411091
圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-354774
公開番号（公開出願番号）：特開平9-297082
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：
【要約】【課題】 本発明の目的は、従来技術による圧力センサ装置の欠点を低減または解消できる圧力センサ装置を提供することにある。【解決手段】 本発明の圧力センサ装置10は、一体に融着されたシリコンの3つの層11a、12、11bを有し、外側の層11a、11bは、これらが接合される中央層12の周囲にシールされたハウジングを形成し、使用時に、ハウジングと中央層との間のキャビティ13が真空引きされる。装置の断面形状から、流体圧力が装置に作用する圧力によって、最小断面寸法の領域において層11a、11bが内方に撓み、これにより最大断面寸法の領域が外方に撓んで、中央層12のバランスのとれたツインビーム共振可能要素16に張力が付与される。共振可能要素に作用する張力は、その共振周波数に影響を与える。従って、共振可能要素の共振周波数を正確に測定し、これを、前のキャリブレーションデータと比較することにより、層11a、11bに作用する圧力を決定できる。
請求項（抜粋）：
感圧ハウジングと、該感圧ハウジング内に配置されかつ取り付けられた架橋部材とを有し、該架橋部材は、感圧ハウジング内のキャビティを横切って延び、ハウジングに作用する圧力に応答してハウジングから応力を受けるように配置された応力感応部材を形成する構成の、流体圧力を検出する圧力センサ装置において、第1、第2および第3層を有し、第1および第2層が実質的にハウジングを形成し、第3層が架橋部材を形成しかつ第1層と第2層との間に配置されていることを特徴とする圧力センサ装置。
IPC (3件)：
G01L 9/00
, G01L 1/10
, G01L 19/04
G01L 9/00 C
, G01L 1/10 Z
, G01L 19/04
