特許
J-GLOBAL ID：200903025944017109
ネガ型感光性樹脂組成物およびその硬化物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
鈴木 俊一郎
, 牧村 浩次
, 高畑 ちより
, 鈴木 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-028856
公開番号（公開出願番号）：特開2004-240143
出願日： 2003年02月05日
公開日（公表日）： 2004年08月26日
要約：
【課題】解像性、熱衝撃性に優れるとともに、良好な密着性を有する硬化物が得られる感光性樹脂組成物を得る。【解決手段】一般式(1)で表される共重合体(A)、分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を含有する化合物(B)、オキシラン環含有化合物(C)、光感応性酸発生剤(D)および有機溶剤(E)を含有することを特徴としている。また、本発明の硬化物はこのような感光性樹脂組成物を熱硬化してなることを特徴としている。(X)m1-(Y)n-(X)m2 (1)(Xは、下記式(2)で示される構成単位を10重量%以上の量で含む構成単位である。)【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)下記一般式(1)で示されるブロック共重合体、(B)分子中に少なくとも2つ以上のアルキルエーテル化されたアミノ基を有する化合物、(C)オキシラン環含有化合物、(D)光感応性酸発生剤、および(E)溶剤を含有することを特徴とするネガ型感光性樹脂組成物。
(X)m1-(Y)n-(X)m2 (1)
(Xは、下記式(2)で示される構成単位を10重量%以上の量で含み、Xを構成単位とする(共)重合体のガラス転移温度(Tg)が10°C以上である構成単位であり、
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/038 601
, H01L21/30 502R
2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AA14
, 2H025AB16
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BE00
, 2H025CB16
, 2H025CB45
, 2H025CB60
, 2H025CC17
, 2H025FA17
