特許
J-GLOBAL ID：200903025944606864
密封容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-303008
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161804
出願日： 1993年12月02日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 この発明は第1の容器部材と第2の容器部材とによって形成された空間部の気密状態を確実かつ良好に維持することができるようにした密閉容器を提供することにある。【構成】 基板を保持したキャリア38を内部に収容する密封容器において、一側面が開口した第1の容器部材21と、この第1の容器部材にト-ションバ-28によって回動自在に連結された第2の容器部材22と、上記第1の容器部材と第2の容器部材との接合面間に設けられこれらの接合状態を密封するシ-ル部材26と、上記第1の容器部材と第2の容器部材とを接合させたときに上記ト-ションバ-にねじりを与えてその復元力で上記第2の容器部材を接合方向へ付勢するとともに上記ト-ションバ-を捩じり状態で保持するロック機構30とを具備したことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板を保持したキャリアを内部に収容する密封容器において、一側面が開口した第1の容器部材と、この第1の容器部材にト-ションバ-によって回動自在に連結された第2の容器部材と、上記第1の容器部材と第2の容器部材との接合面間に設けられこれらの接合状態を密封するシ-ル部材と、上記第1の容器部材と第2の容器部材とを接合させたときに上記ト-ションバ-にねじりを与えてその復元力で上記第2の容器部材を接合方向へ付勢するとともに上記ト-ションバ-をねじり状態で保持するロック機構とを具備したことを特徴とする密封容器。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 45/02
, H01L 21/02
