流体流路

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田澤博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-135180
公開番号（公開出願番号）：特開2000-306591
出願日： 1993年03月10日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】均一なガスの分配を実現することが困難であるという課題があった。【解決手段】流路51の内側に、所定の温度以上の温度領域では流路51の断面積を小さくする方向に変形し、所定の温度未満の温度領域では流路51の断面積を大きくする方向に変形する調節板52を設ける。

請求項（抜粋）：

流体を供給する流体流路において、該流路の内側に、所定の温度以上の温度領域では該流路の断面積を小さくする方向に変形し、所定の温度未満の温度領域では前記方向と相反する方向に変形する流量制御部材を設けたことを特徴とする流体流路。

引用特許：

審査官引用 (12件)

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