特許

J-GLOBAL ID：200903025952461786

水溶性感光材料

発明者： 小松 利夫 ,  安藤 幸博 ,  宇高 公淳
出願人/特許権者： ザ・インクテック株式会社
代理人 (1件)： 本多 一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-126325
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292711
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】 銅または銅合金基材上でのレジスト層のカブリ現象を抑制し、高い寸法安定性を有する水溶性感光材料を提供する。【解決手段】 水溶性高分子と、重クロム酸アルカリとを含む水溶性感光材料において、ヘテロ環式化合物が0.01〜1重量%添加されてなる。

請求項（抜粋）：

水溶性高分子と、重クロム酸アルカリとを含む水溶性感光材料において、ヘテロ環式化合物が0.01〜1重量%添加されてなることを特徴とする水溶性感光材料。

IPC (5件)：

G03F 7/04 ,  C23F 1/00 102 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 ,  H01L 23/50

FI (5件)：

G03F 7/04 ,  C23F 1/00 102 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 ,  H01L 23/50 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭59-148054
  
• 特開平1-261635
  
• 特開昭48-061130
  

審査官引用 (3件)

• 特開昭59-148054
  
• 特開平1-261635
  
• 特開昭48-061130