特許

J-GLOBAL ID：200903025954832838

圧力センサ

発明者： 田村 学
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (7件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  杉浦 秀幸 ,  鈴木 三義 ,  村山 靖彦 ,  高柴 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-001086
公開番号（公開出願番号）：特開2005-195423
出願日： 2004年01月06日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：

【課題】 高感度で遠心力等に伴う加速度の影響が少ない圧力センサを提供する。【解決手段】 回転する圧力容器内の圧力を計測する圧力センサであって、基板2と、ダイヤフラム3、4の変形による静電容量変化または電気抵抗変化により圧力を計測するために基板2の両側に対称に配置された同一の2つのダイヤフラム3、4とを具備してなることを特徴とする圧力センサ1を採用する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

回転する圧力容器内の圧力を計測する圧力センサであって、基板と、ダイヤフラムの変形による静電容量変化または電気抵抗変化により圧力を計測するために前記基板の両側に対称に配置された同一の2つのダイヤフラムとを具備してなることを特徴とする圧力センサ。

IPC (4件)：

G01L9/12 ,  G01L9/00 ,  G01L9/04 ,  H01L29/84

FI (6件)：

G01L9/12 ,  G01L9/00 303A ,  G01L9/00 305A ,  G01L9/04 ,  H01L29/84 B ,  H01L29/84 Z

Fターム (21件)：

2F055AA12 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE11 ,  2F055EE25 ,  2F055FF11 ,  2F055GG13 ,  4M112AA01 ,  4M112BA07 ,  4M112CA01 ,  4M112CA03 ,  4M112CA04 ,  4M112CA05 ,  4M112CA06 ,  4M112DA03 ,  4M112DA04 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA11 ,  4M112FA20

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 静電容量型圧力センサ及びその製造方法並びに圧力検出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-352830   出願人：オムロン株式会社