特許

J-GLOBAL ID：200903025955570810

荷電粒子線露光装置におけるステージ用部品の磁性検査装置

発明者： 竹越 秀和 ,  影山 元英 ,  春名 和幸 ,  石原 道章
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-406694
公開番号（公開出願番号）：特開2005-167105
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】 実際に使用される形状の磁性部品が荷電粒子線露光装置の磁場に与える影響を検出することが可能な、荷電粒子線露光装置におけるステージ用部品の磁性検査装置を提供する。【解決手段】 サンプルホルダー収納体1は、中空円筒状をしており、その外側の枠体2には、4つの電磁石3が取り付けられている。これらの電磁石3の極性は図に示すようになっており、これにより、(b)において上から下に向かう磁場がB-Bの切断面を対称面として面対称に形成される。サンプルホルダー収納体1の真横には、磁気センサ4が設けられている。この磁気センサ4が設けられている位置では、(b)における左右方向の磁場は、各電磁石3の発生する磁場が打ち消しあって、ほとんど0に近い状態となっている。サンプルホルダー収納体1の中に、被検査体である部品を取り付けたサンプルホルダーを通し、そのときに漏洩する磁束を、磁気センサ4で測定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を用いてレチクルに形成されたパターンをウエハ等の感応基板に露光転写する荷電粒子線露光装置において、レチクルステージ又はウエハステージ上に搭載される部品の磁性が、荷電粒子線露光装置の特性に与える影響を検査する検査装置であって、前記部品を収納する非磁性のサンプルホルダーと、非磁性の筒状体であって、前記サンプルホルダーを、その内面に沿って移動可能に収納するサンプルホルダー収納体と、前記サンプルホルダー収納体の長手方向の一部分に、前記サンプルホルダー収納体の外側に設けられ、前記サンプルホルダー収納体の中心軸に垂直な方向の磁界を発生させる励磁装置と、前記サンプルホルダーの外側で、前記サンプルホルダー収納体中に前記サンプルホルダーが収納されていない状態において、前記励磁装置の磁界の影響を実質的に受けない位置に設けられた磁気センサとを有することを特徴とする荷電粒子線露光装置におけるステージ用部品の磁性検査装置。

IPC (1件)：

H01L21/027

FI (1件)：

H01L21/30 541L

Fターム (3件)：

5F056BA10 ,  5F056BB10 ,  5F056EA14