特許
J-GLOBAL ID：200903025961427906
基板検査装置および基板検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 栄男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-322578
公開番号（公開出願番号）：特開平11-153638
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月08日
要約：
【要約】【課題】 ファインピッチに等電位のパッドがあっても、非接触にて確実な導通検査を行なう。【解決手段】 センサーユニット52は、パッド38a,38b,38cと静電結合する検出用電極61と、パッド38d,38e,38fと静電結合する検出用電極62と、パッド38g,38h,38iと静電結合する検出用電極63を有する。検出用電極61と検出用電極62とは、表面からの深さが異なる深さに設けられている。検出用電極62と検出用電極63についても同様である。隣接する検出用電極が、治具の表面からの距離が異なるように、深さ方向にずらして設けられているので、各検出用電極は、静電結合する複数のパッドを越える位置まで形成することができる。
請求項（抜粋）：
検査対象配線の一端側の端部が微細間隔で配置された微細間隔端部配置領域を有する被検査基板であって、前記微細間隔端部配置領域に配置された端部のうち、少なくとも2つの端部は同電位となるように、前記検査対象配線が接続された被検査基板の検査対象配線の導通短絡検査を行なう基板検査装置であって、前記被検査基板の微細間隔端部配置領域に配置された一端側の複数の端部と非接触結合される第1の端子を有する検査用治具、前記検査対象配線に試験信号を供給する試験信号供給手段、前記第1の端子で検出される信号に基づいて、被検査基板の検査対象配線の導通短絡検査を行なう導通短絡検査手段、を備え、前記第1の端子を、前記同電位の2つの端部が非接触結合する電極が異なるように、複数の電極から構成するとともに、前記複数の電極を前記治具の表面からの距離が異なるように、深さ方向にずらして設けたこと、を特徴とする基板検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 31/02
, G01R 31/28 L
