特許
J-GLOBAL ID：200903025964431602
ウェハ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-295875
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146242
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】ウェハを載置するウェハ載置台を常に安定した状態て保持できるウェハ検査装置を提供することを目的とする。【構成】ウェハ1を載置する載置面を備えたウェハ載置台42と、ウェハ載置台42を上昇又は下降させる昇降機構3と、昇降機構3に連結されるシャフト38と、ウェハ載置台42とシャフト38とを互いに引きつけるように連結する引張りバネ部材50とを備え、ハウジング10には、昇降機構3がウェハ載置台42を下降した際、ウェハ載置台42の載置面がアーム60に対して常に平行になるようにな受け皿58を設けた。そして、さらに昇降機構3で、ウェハ載置台42を下降すると引張りバネの作用で受け皿58にウェハ載置台42が押しつけられるようにした。
請求項（抜粋）：
ウェハを載置する載置面を備えたウェハ載置台と、前記ウェハ載置台を上昇又は下降させる昇降機構と、前記昇降機構に連結されるシャフトと、前記シャフトと前記ウェハ載置台とを互いに引きつけ、連結状態にする連結バネ部材と、ハウジングに形成され、前記ウェハ載置台を所定の角度で保持可能な保持部と、前記ウェハ載置台が前記保持部に保持された時、前記ウェハ載置台と前記シャフトとの連結状態を解除するように前記昇降機構を駆動する昇降機構駆動手段と、を有することを特徴とするウェハ検査装置。
IPC (5件)：
G01N 21/84
, G01N 21/88
, H01L 21/66
, H01L 21/68
, G01B 21/00
