モジュラー電極構成をもつ励起およびイオン化装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本亮一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-002705
公開番号（公開出願番号）：特開平9-199261
出願日： 1997年01月10日
公開日（公表日）： 1997年07月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】電界中で蒸気およびガスの励起またはイオン化する装置を提供する。【解決手段】励起室(2)を通つて延びる複数の電極(1)、各電極は両側が支持体(4)で支持されている。支持体(4)は励起室(2)の対向壁を形成する。各電極は、保護管内の中心導線をもっている。保護管は、支持体(4)中に気密に結合される。このように形成された装置は製作が簡単で、個々の電極を保守または取り替えのため除去または交換できる。

請求項（抜粋）：

棒状電極(1)の電界による蒸気およびガスの励起またはイオン化装置であって、電極の複数が第1電位に、電極の複数が第2電位に接続され、各電極は少なくとも1つの支持体(4)に支持されている前記装置において、各々一つの支持体(4)毎に唯一つの棒状電極(1)だけが配置されていることを特徴とするモジュラー電極構成をもつ励起またはイオン化装置。

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