特許
J-GLOBAL ID：200903025965217035
レジスト塗布装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-020535
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211625
出願日： 1995年02月08日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：
【要約】【目的】レジスト液面を所定高さに制御し、レジスト液面の変動による塗布ムラのない高膜質を得る。【構成】レジスト溶液4の受け皿5に貯留されているレジスト溶液4の液面高さを検出するレジスト液面センサー10と、受け皿5に貯留されたレジスト溶液中に挿入した補正ロッド11と、補正ロッドの挿入量を可変するロッド駆動装置20と、レジスト液面センサー10の検出信号に基づいてロッド駆動装置20に駆動信号を与えることにより、レジスト溶液4の液面高さを一定の高さに制御する演算装置17とを備えた。
請求項（抜粋）：
レジスト溶液を貯留する受け皿と、少なくとも周面の一部を前記レジスト溶液に没設して回転するロールバーと、前記受け皿に取付けて前記ロールバーを回転可能に保持するロールバー保持部材と、前記ロールバーに上方から対接して押圧するニップローラとの間にガラス基板を所定の速度で搬送しながら前記ガラス基板1に前記ロールバー3で汲み上げたレジスト溶液を接触させると共に、余剰のレジスト溶液を掻き取ることにより、所望の厚さのレジスト膜を形成するレジスト塗布装置において、前記受け皿に貯留されているレジスト溶液の液面高さを検出するレジスト液面センサーと、前記受け皿に貯留されたレジスト溶液中に挿入した補正ロッドと、前記補正ロッドの挿入量を可変するロッド駆動装置と、前記レジスト液面センサーの検出信号に基づいて前記ロッド駆動装置に駆動信号を与えることにより、前記レジスト溶液の液面高さを一定の高さに制御する演算装置とを備えたことを特徴とするレジスト塗布装置。
IPC (4件)：
G03F 7/16 501
, B05C 1/02 102
, B05C 11/10
, G02B 5/20 101
