特許

J-GLOBAL ID：200903025966255976

アライメントマーク検出方法

発明者： 中島 英治
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-183608
公開番号（公開出願番号）：特開平6-094422
出願日： 1993年07月26日
公開日（公表日）： 1994年04月05日
要約：

【要約】【目的】カラーフィルタの製造工程で生じるアライメントミスを低減させる。【構成】基板1上に形成されたアライメントマーク9をレーザービームRの反射回折光によって検出する方法において、アライメントマーク9のエッジE1 により反射する被検出光PA を検出するセンサ部SAと、該センサ部SAに隣接して被検出光PA の方向と直角方向のノイズ光ND を検出するセンサ部SDとを備え、ノイズ光を検出するセンサ部SDのノイズ信号と、被検出光を検出するセンサ部SAの検出信号とを、いずれか一方を反転させて加算する。

請求項（抜粋）：

基板上に形成されたアライメントマークをレーザービームの反射回折光によって検出する方法において、前記アライメントマークのエッジによりエッジと直角方向に反射回折する被検出光を検出するセンサ部と、該センサ部に隣接して前記被検出光の方向と直角であってエッジと平行な方向のノイズ光を検出するセンサ部とを備え、ノイズ光を検出するセンサ部のノイズ信号と、被検出光を検出するセンサ部の検出信号とを、いずれか一方を反転させて加算することを特徴とするアライメントマーク検出方法。

IPC (5件)：

G01B 11/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G03F 9/00 ,  G09F 9/30 349 ,  H01L 21/027