特許
J-GLOBAL ID：200903025967756472
エアロゾル熱分解法による薄膜形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋山 敦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-334460
公開番号（公開出願番号）：特開2003-138376
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【課題】 大気圧下で薄膜形成が可能であり、構造が簡単な薄膜形成装置による製造コストの低い薄膜形成方法であって、かつ、均一性の高い良質な金属酸化物薄膜を大きな堆積速度で形成することが可能なエアロゾル熱分解法による薄膜形成方法を提供する。【解決手段】 エアロゾル熱分解法による薄膜形成方法は、大気圧下で、薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させ、発生したエアロゾルを熱分解して形成するものである。このエアロゾル熱分解法による薄膜形成方法は、薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させる工程と、前記薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えて発生させたエアロゾルをマイクロ波で分解する工程と、前記エアロゾルを加熱しながら基板に供給する工程から構成される。
請求項（抜粋）：
大気圧下で、薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させ、発生したエアロゾルを熱分解して形成する薄膜形成方法において、前記薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えてエアロゾルを発生させる工程と、前記薄膜材料を溶解した溶媒に超音波振動を加えて発生させたエアロゾルをマイクロ波で分解する工程と、前記エアロゾルを加熱しながら基板に供給する工程と、を備えてなることを特徴とするエアロゾル熱分解法による薄膜形成方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 16/44
, C23C 24/10 C
4K030AA03
, 4K030AA24
, 4K030BA42
, 4K030CA04
, 4K030CA06
, 4K030EA01
, 4K030FA14
, 4K030LA01
, 4K044AA12
, 4K044BA12
, 4K044BB01
, 4K044BC14
, 4K044CA15
, 4K044CA24
, 4K044CA44
, 4K044CA55
