特許

J-GLOBAL ID：200903025976770747

処理液供給ノズル

発明者： 松原 英明 ,  平得 貞雄
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-317187
公開番号（公開出願番号）：特開2000-140779
出願日： 1998年11月09日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
要約：

【要約】【課題】 超音波振動子の放熱効率を向上させることによってパーティクルの除去能力を高めることができる。【解決手段】 超音波振動子15により処理液に超音波を付与して吐出する処理液供給ノズル1において、超音波振動子15のうち処理液が流通する振動付与側の反対側に超音波振動子15を冷却するための冷却フィン21を備え、冷却フィン21に冷却用気体を供給する導入配管31とそれを排出する排出配管33を備えた。超音波振動子15の放熱効率を高くすることができ、印加する高周波信号を高くしてパーティクルの除去能力を高めることができる。

請求項（抜粋）：

超音波振動子により処理液に超音波を付与して吐出する処理液供給ノズルにおいて、前記超音波振動子のうち処理液が流通する振動付与側の反対側に前記超音波振動子を冷却するための冷却手段を備えたことを特徴とする処理液供給ノズル。

IPC (3件)：

B08B 3/12 ,  B08B 3/02 ,  H01L 21/304 642

FI (3件)：

B08B 3/12 Z ,  B08B 3/02 Z ,  H01L 21/304 642 E

Fターム (10件)：

3B201AA03 ,  3B201AB01 ,  3B201AB34 ,  3B201AB47 ,  3B201BB22 ,  3B201BB52 ,  3B201BB85 ,  3B201BB90 ,  3B201BB94 ,  3B201CB01