特許

J-GLOBAL ID：200903025979516230

ディスプレイ窓材用光学薄膜の形成方法及び光学薄膜構造体

発明者： 中山 高博 ,  三浦 治 ,  村上 裕彦 ,  松崎 封徳 ,  倉内 利春 ,  三沢 俊司 ,  玉川 孝一 ,  岡坂 謙介 ,  藤井 健司 ,  佐々木 貴英
出願人/特許権者： 株式会社アルバック ,  アルバック成膜株式会社
代理人 (2件)： 北村 欣一 ,  吉岡 正志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-160352
公開番号（公開出願番号）：特開2004-002111
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】高効率で発光を取り出すために多孔質シリカ材料から成る低屈折率膜と透明導電膜とを有して光学薄膜を積層形成する際に、この透明導電膜に対する多孔質シリカ材料の付着強度を増大させることを可能とするディスプレイ窓材用光学薄膜の形成方法、及び、その方法を用いて形成した光学薄膜構造体を提供する。【解決手段】ガラス基板1上に、SiO2膜などの透明絶縁層から成る中間密着層4を介して、透明導電膜2と疎水性多孔質シリカ材料から成る低屈折率膜3とを積層して光学薄膜構造体を形成する。このとき、疎水性多孔質シリカ材料から成る低屈折率膜3は、0.3〜2.0μmの膜厚と、中心線平均粗さ表示で50nm以下の平坦度とを有し、透明絶縁膜から成る中間密着層4は、5〜300nmの膜厚と中心線平均粗さ表示で50nm以下の平坦度とを有することが望ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

中間密着層を介して透明導電膜と疎水性多孔質シリカ材料から成る低屈折率膜とを積層することを特徴とするディスプレイ窓材用光学薄膜の形成方法。

IPC (6件)：

C03C17/34 ,  G02B1/10 ,  G02B1/11 ,  G09F9/30 ,  H05B33/02 ,  H05B33/14

FI (6件)：

C03C17/34 Z ,  G09F9/30 310 ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 A ,  G02B1/10 A ,  G02B1/10 Z

Fターム (49件)：

2K009AA02 ,  2K009CC01 ,  2K009DD02 ,  2K009DD06 ,  2K009EE00 ,  3K007AB02 ,  3K007AB03 ,  3K007AB15 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007BB06 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4G059AA08 ,  4G059AA11 ,  4G059AC03 ,  4G059AC04 ,  4G059AC14 ,  4G059AC15 ,  4G059AC25 ,  4G059EA01 ,  4G059EA02 ,  4G059EA03 ,  4G059EA05 ,  4G059EA12 ,  4G059EB03 ,  4G059EB04 ,  4G059FB05 ,  4G059GA02 ,  4G059GA05 ,  4G059GA12 ,  5C094AA10 ,  5C094AA11 ,  5C094AA12 ,  5C094AA38 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA27 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094ED01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB12 ,  5C094FB15 ,  5C094JA07 ,  5C094JA08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電気光学装置、膜状部材、積層膜、低屈折率膜、多層積層膜、電子機器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-340746   出願人：セイコーエプソン株式会社