特許

J-GLOBAL ID：200903025990785706

光吸収計測装置

発明者： 潮 嘉次郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-213788
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061405
出願日： 1995年08月22日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【課題】 サンプル薄膜の光吸収率を定量的に評価するに際し、計測値の再現性が良く、しかも計測値の校正が可能な光吸収計測装置を提供すること。【解決手段】 基板1上に形成された薄膜状のサンプルに計測光を照射したときの光吸収に起因する該サンプル薄膜3の体積変化により発生する音響信号を計測することで、該サンプル薄膜3の光吸収を測定する光吸収計測装置であり、音響検知素子4が音響整合をとられた状態にて、基板1または基板1を保持するホルダーに設けられている光吸収計測装置において、前記基板1上の前記サンプル薄膜3が形成されていない部分に、該基板1のホルダーによる保持条件の調整を行うための、或いは前記サンプル薄膜3との光吸収の比較を行うためのレファレンス部2を設けたことを特徴とする光吸収計測装置。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された薄膜状のサンプルに計測光を照射したときの光吸収に起因する該サンプル薄膜の体積変化により発生する音響信号を計測することで、該サンプル薄膜の光吸収を測定する光吸収計測装置であり、音響検知素子が音響整合をとられた状態にて、基板または基板を保持するホルダーに設けられている光吸収計測装置において、前記基板上の前記サンプル薄膜が形成されていない部分に、該基板のホルダーによる保持条件の調整を行うための、或いは前記サンプル薄膜との光吸収の比較を行うためのレファレンス部を設けたことを特徴とする光吸収計測装置。

IPC (2件)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00

FI (2件)：

G01N 29/00 501 ,  G01N 21/00 A