特許
J-GLOBAL ID:200903025997364005
研磨材の回収装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
重野 剛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-321334
公開番号(公開出願番号):特開2001-138235
出願日: 1999年11月11日
公開日(公表日): 2001年05月22日
要約:
【要約】【課題】 研磨工程排水からの粗大固形物の除去手段を改良し、装置のランニングコストを低減すると共に、長期間安定して研磨材を効率良く回収再利用することができる研磨材の回収装置を提供する。【解決手段】 研磨材中の粗大固形物を沈殿分離する貯留槽1と、貯留槽1の分離液が導入される遠心分離機2とを備えてなる研磨材の回収装置。
請求項(抜粋):
研磨工程排水から研磨材を回収する装置において、研磨工程排水中の粗大固形物を沈殿分離する貯留槽と、該貯留槽の分離液が導入される遠心分離手段とを備えてなることを特徴とする研磨材の回収装置。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (14件):
3C047GG14
, 3C047GG17
, 4D037AA13
, 4D037AA14
, 4D037AB02
, 4D037AB06
, 4D037AB09
, 4D037AB10
, 4D037AB11
, 4D037BA28
, 4D037BB01
, 4D037CA03
, 4D037CA06
, 4D037CA14
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