金属膜作製装置及び金属膜作製方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：光石俊郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-030440
公開番号（公開出願番号）：特開2003-231971
出願日： 2002年02月07日
公開日（公表日）： 2003年08月19日
要約：

【要約】【課題】 Cu膜16への異物の付着をなくす。【解決手段】基板3の直上を避けた位置における銅板リング9が備えられたチャンバ1内に原料ガスを供給し、原料ガスプラズマを発生させて銅板リング9をエッチングすることにより銅板リング9に含まれる銅成分と原料ガスとの前駆体を生成し、基板3側の温度を銅板リング9側の温度よりも低くして基板3の直上に銅板リング9が存在しない状態で前駆体の銅成分を基板3に成膜させ、銅板リング9の棒状結晶が塵となって落下しても基板3の上には落下することがなく、Cu膜16への異物の付着がなくなり、製品の品質向上と生産性が向上する。

請求項（抜粋）：

基板が収容されるチャンバと、基板の直上を避けた位置におけるチャンバに設けられる金属製の被エッチング部材と、ハロゲンを含有する原料ガスを供給する原料ガス供給手段と、原料ガスプラズマを発生させ被エッチング部材をエッチングすることにより被エッチング部材に含まれる金属成分と原料ガスとの前駆体を生成するプラズマ発生手段と、基板側の温度を被エッチング部材側の温度よりも低くして前駆体の金属成分を基板に成膜させる温度制御手段とを備えたことを特徴とする金属膜作製装置。

IPC (2件)：

C23C 16/448 , H01L 21/285

FI (2件)：

C23C 16/448 , H01L 21/285 C

Fターム (21件)：

4K030AA02 , 4K030AA03 , 4K030AA16 , 4K030BA01 , 4K030BA17 , 4K030BA18 , 4K030BA20 , 4K030EA01 , 4K030FA01 , 4K030FA04 , 4K030JA10 , 4K030KA41 , 4K030LA15 , 4M104BB04 , 4M104BB06 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB14 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104DD44

前のページに戻る