特許
J-GLOBAL ID:200903026009089688

容量型圧力変換器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 浅村 皓 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-277085
公開番号(公開出願番号):特開平6-201503
出願日: 1993年11月05日
公開日(公表日): 1994年07月19日
要約:
【要約】【目的】 一方の変換器から他方の変換器へのコンデンサプレート間の間隔が均等にされ、製造における歩どまりが改善され、更に信頼性が高く、寿命の長い変換器を提供する。【構成】 セラミック材料製の変換器12がその表面近くに閉じられた空洞14を有し、この空洞を形成する2つの向い合った面にコンデンサプレート36が設けられている。変換器は、有機結合剤を被覆したセラミック粉末を用いて、ダイアフラムと頂面に凹所を有するベースとをプレスにより別々に成形することで製造される。ダイアフラムとベースに金属層を付着させたのち、双方がユニットに結合される。
請求項(抜粋):
容量型圧力変換器において、外周面と、頂面と、頂面に隣接するセラミック体内の、閉じられた空洞とを有する一体のセラミック体を有しており、前記空洞が頂壁と底壁とを有し、各導電層が互いに間隙により分離された頂壁と底壁とに設けられ、導電経路部材が導電層からセラミック体外周面へ延びて、セラミック体との電気接続がなされていることを特徴とする容量型圧力変換器。
IPC (2件):
G01L 9/12 ,  H01L 29/84

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