特許
J-GLOBAL ID：200903026013297163
高周波電源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-345573
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182597
出願日： 1991年12月26日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】【目的】いかなるときにも反射動が少なく高周波電流の供給効率が高い高周波電源を提供する。【構成】高周波誘導コイルに対し並列に接続されたコンデンサと電源本体の接続を断続させるスイッチを整合回路内に設け、このスイッチを高周波誘導結合プラズマが点火前後でオンオフさせて整合をとるようにしたもの。
請求項（抜粋）：
高周波誘導結合プラズマを発生させるための高周波誘導コイルに高周波電流を供給する高周波電源において、電源本体と、前記高周波誘導コイルに対し並列に接続された第1可変コンデンサ,前記高周波誘導コイルに対し直列に接続された第2可変コンデンサ,前記高周波誘導コイル及び第1可変コンデンサに対し並列に接続されたコンデンサ,及び該コンデンサと前記電源本体の接続を断続させるスイッチを有する整合回路とを具備し、前記高周波誘導結合プラズマが点火する前は前記スイッチがオンにされ、前記高周波誘導結合プラズマが点火した後は前記スイッチがオンにされるように構成したことを特徴とする高周波電源。
IPC (3件)：
H01J 27/16
, G01N 27/62
, H01J 43/26
