照明装置及び該照明装置を備える露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-159058
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135149
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：

【要約】【目的】像質を改善する。【構成】複数個の断面が略長方形のレンズを2次元的に配置したフライアイレンズ6からの光でマスク12を照明し、マスク12のパタ-ンを投影光学系14によりウエハ-15上に投影する装置において、ランプと楕円鏡の組を2組(1、2;1’、2’)設け、各ランプの発光部1a、1aの像をフライアイレンズ6の略長方形レンズの長辺方向に並べて形成し、発光部1a、1aの像からの各光を前記フライアアイレンズに照射することにより、フライアイレンズの略長方形のレンズ毎に長辺方向に並んだ一対の光源を生じせしめる。

請求項（抜粋）：

複数個の断面が略長方形のレンズを2次元的に配置したフライアイレンズからの光で被照明面を照明する装置において、前記レンズの長辺方向に並んだ複数の光源像からの光を前記フライアイレンズに照射する光照射手段を有することを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (1件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-287434 出願人：旭光学工業株式会社

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