特許
J-GLOBAL ID：200903026015603121
ブラックレジスト用感放射線性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329643
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149153
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：
【要約】【課題】 高い膜硬度を有し、パターン表面の平滑性に優れるとともに、未露光部の基板上に残渣や地汚れを生じ難く、しかも現像時のパターンの基板への密着性に優れたブラックレジスト用感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 (A)黒色顔料と体質顔料との混合物からなる着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマーおよび(D)光重合開始剤を含有することを特徴とするブラックレジスト用感放射線性組成物。
請求項（抜粋）：
(A)黒色顔料と体質顔料との混合物からなる着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマーおよび(D)光重合開始剤を含有することを特徴とするブラックレジスト用感放射線性組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/004 505
, C09D 5/00
, G02B 5/00
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 500
, G03F 7/027
, G03F 7/028
G03F 7/004 505
, C09D 5/00 C
, G02B 5/00 B
, G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 500
, G03F 7/027
, G03F 7/028
