特許
J-GLOBAL ID：200903026017532400
ガラス光導波路およびその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津川 友士
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-061358
公開番号（公開出願番号）：特開平8-262247
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】 ガラス光導波路の光伝播損失を低減させる。【構成】 ガラス基板1上にエッチング法によりコア層2を形成した後、コア層2のみを軟化させるべく熱処理を施し、その後、コア層2を覆うように上部クラッド層3を形成する。
請求項（抜粋）：
ガラス基板(1)上にコア層(2)を形成し、コア層(2)を覆うように上部クラッド層(3)を形成してなるガラス光導波路であって、コア層(2)の側面の凹凸の周期が、エッチング処理直後の凹凸の周期よりも大きく設定されていることを特徴とするガラス光導波路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
