投影露光装置および投影露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：前田均 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-369506
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195587
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】急激な照度低下が生じた場合であっても、露光シーケンスを中断することなく、露光処理を継続できるようにすることである。【解決手段】マスク6および感光基板14を保持したキャリッジ17を所定の走査方向(X方向)に移動しつつ照明光学系I1〜Inによるスリット光で照明することにより、マスクパターンを転写する走査型の投影露光装置である。照明光学系I1〜Inによる照明光の照度変化が所定の照度調節範囲内で生じている場合には、該照度が一定となるように該照明光の照度を照度調節フィルタ7により調節し、複数のランプのうちの一の破裂等により照明光の照度変化が前記照度調節範囲を越えて低下した場合には、スキャン速度を低下させることにより、感光基板14上の実質的な露光量を障害前後で同一となるようにする。

請求項（抜粋）：

パターンが形成されたマスクおよび露光対象としての感光基板を移動する移動手段と、該マスクを照明する照明光学系と、該マスクからのパターン像を感光基板上に投影する投影光学系とを備え、前記移動手段により前記マスクおよび前記感光基板を移動しつつ、前記パターン像を前記感光基板上に逐次投影するようにした走査型の投影露光装置において、前記照明光学系による照明光の照度を所定の照度調節範囲内で調節する照度調節手段と、前記照度調節手段により調節された照明光の照度を検出する照度検出手段と、前記照度検出手段により検出される照明光の照度が一定となるように前記照度調節手段を制御する照度制御手段と、前記照度調節手段による照度調節範囲を越えて前記照明光学系による照明光の照度が変化した場合に、前記マスクおよび前記感光基板の移動速度を変更するよう前記移動手段を制御する速度制御手段とを備えたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521 , G03F 7/22

FI (5件)：

H01L 21/30 518 , G03F 7/20 521 , G03F 7/22 H , H01L 21/30 516 D , H01L 21/30 516 B

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