特許
J-GLOBAL ID:200903026021368240

ガラスマスク

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-095451
公開番号(公開出願番号):特開平5-289313
出願日: 1992年04月15日
公開日(公表日): 1993年11月05日
要約:
【要約】【目的】 ホコリの付着を防止するとともにパターンの静電破壊を防止することができるガラスマスクを提供する。【構成】 ガラス基板1の少なくとも一方の面に透明導電膜3が形成されてなるガラスマスク。
請求項(抜粋):
少なくとも一方の面に透明導電膜が形成されてなることを特徴とするガラスマスク。
IPC (2件):
G03F 1/14 ,  H01L 21/027
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭57-067674
  • 特開平3-002756

前のページに戻る