特許
J-GLOBAL ID:200903026026725393

セラミック塗料及びその塗膜形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 浅村 皓 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-800008
公開番号(公開出願番号):特開平6-322318
出願日: 1992年04月22日
公開日(公表日): 1994年11月22日
要約:
【要約】【目的】 電子デバイスの保護及び絶縁に特に有用な新規のセラミック塗膜の形成方法及びそのためのプレセラミック塗料の提供。【構成】 本発明のセラミック塗膜形成方法は、水素シルセスキオキサン樹脂、揮発性SiH化合物を形成しているSi-Si結合を含有する材料及び触媒から成るプレセラミック塗料を塗布する工程と、その後で前記プレセラミック塗料を不活性雰囲気中で熱分解する工程とから成る。
請求項(抜粋):
セラミック塗膜を基板上に形成する方法であって、水素シルセスキオキサン樹脂、揮発性SiH化合物を形成するSi-Si結合を含有する材料及び白金触媒及び銅触媒から成る群から選ばれる触媒を含むプレセラミック塗料を塗布する工程;及び前記プレセラミック塗料を不活性雰囲気中においてセラミック化に十分な温度で熱分解する工程から成ることを特徴とする方法。
IPC (4件):
C09D183/05 PMT ,  B05D 3/06 102 ,  B05D 7/24 302 ,  H01B 3/30

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