特許

J-GLOBAL ID：200903026033691224

電気化学的検出用電極の製造方法

発明者： スティーブン チャールズ ウィリアムズ ,  ピーター トーマス アーノルド ,  ベルナデッド ヨン-ヒン
出願人/特許権者： エンバイランメンタル・センサーズ・リミテッド
代理人 (1件)： 高月 猛
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-502915
公開番号（公開出願番号）：特表平10-502731
出願日： 1995年06月23日
公開日（公表日）： 1998年03月10日
要約：

【要約】電極、特には微小電極の製造方法であって、その(微小)電極は、少なくとも導電層の一部を露出させるような開口部を有する絶縁層により覆われているものであり、そして、上記開口部は、光硬化(光重合)レジスト又は光軟化(結合の光誘起性破壊)レジストを使用することによって形成されるという特徴を有する。

請求項（抜粋）：

導電層と、その上に重ねられ、導電層を露出させる開口部を有する絶縁層とを含んでなり、フォトイメージングによって開口部が形成されることを特徴とする微小電極の製造方法。

IPC (5件)：

G01N 27/30 ,  C23F 1/00 ,  C23F 1/00 102 ,  G01N 27/327 ,  G03F 7/00

FI (7件)：

G01N 27/30 Z ,  C23F 1/00 A ,  C23F 1/00 102 ,  G03F 7/00 ,  G01N 27/30 353 Z ,  G01N 27/30 357 ,  G01N 27/30 351