特許

J-GLOBAL ID：200903026041324060

弾性表面波装置の製造方法

発明者： 大久保 幸夫 ,  佐々木 潤
出願人/特許権者： 株式会社日鉱共石
代理人 (1件)： 並川 啓志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-118534
公開番号（公開出願番号）：特開平5-291863
出願日： 1992年04月13日
公開日（公表日）： 1993年11月05日
要約：

【要約】【目的】耐ストレスマイグレーション性に優れたアルミニウム合金からなる微細なくし型電極を、エッチング残渣を残すことなく、正確な電極幅で作成することのできるエッチング方法を提供する。【構成】圧電体基板上に銅を含有するアルミニウム合金膜を形成し、塩化第2鉄(FeCl3)を含有し、りん酸を主成分とするエッチング液により前記アルミニウム合金膜をエッチングすることによりくし形電極を形成する。

請求項（抜粋）：

圧電体基板上に銅を含有するアルミニウム合金膜を形成し、塩化第2鉄(FeCl3)を含有し、りん酸を主成分とするエッチング液により前記アルミニウム合金膜をエッチングすることによりくし形電極を形成する工程を含むことを特徴とする弾性表面波装置の製造方法。