特許

J-GLOBAL ID：200903026043442079

荷電粒子ビーム露光装置及び露光方法

発明者： 佐藤 高雅
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-026386
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223412
出願日： 1999年02月03日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 BAA方式の荷電粒子ビーム露光装置におけるスループットの向上。【解決手段】 電子銃9と、複数の開口が配列され荷電粒子ビームをオン・オフ制御するBAA30と、偏向手段14,16 と、収束手段12,15 と、荷電粒子ビームが開始点と終了点を順次変化させながら試料上の所定範囲を走査するように偏向手段を制御する偏向制御手段20,40 と、各開口を制御する露光制御手段20とを備える荷電粒子ビーム露光装置において、偏向制御手段は、DAC41と電流・電圧変換器42を有する走査位置信号発生回路と、DAC43と電流・電圧変換器44を有する走査開始位置信号発生回路と、電流可変定電流源46と、容量47と定電流源の出力電流を制御する電流供給制御回路45とを備える走査信号発生回路と、走査信号加算回路48と、演算回路49とを備え、走査距離と走査時間に応じて定電流源の出力電流を設定する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームを生成する電子銃と、両側に電極を有する複数の開口が配列され、前記電極に印加する信号で入射する前記荷電粒子ビームが試料上に照射されるかされないかが制御可能なブランキング・アパーチャ・アレイと、該ブランキング・アパーチャ・アレイを通過した前記荷電粒子ビームを偏向する偏向手段と、前記ブランキング・アパーチャ・アレイを通過した前記荷電粒子ビームを試料上に収束する収束手段と、前記ブランキング・アパーチャ・アレイを通過した前記荷電粒子ビームが、走査の開始点と終了点を順次変化させながら、前記試料上の所定範囲を走査するように前記偏向手段を制御する偏向制御手段と、露光パターンに応じて、前記ブランキング・アパーチャ・アレイの各開口の電極に印加する信号を、前記走査に同期して制御する露光制御手段とを備える荷電粒子ビーム露光装置において、前記偏向制御手段は、前記開始点の第1の座標を指示するデジタルデータを、対応するアナログ電流信号に変換するデジタル・アナログ変換器(DAC)と、前記アナログ電流信号を電圧信号に変換する電流・電圧変換器を有する走査位置信号発生回路と、前記開始点の第2の座標を指示するデジタルデータを、対応するアナログ電流信号に変換するデジタル・アナログ変換器(DAC)と、前記アナログ電流信号を電圧信号に変換する電流・電圧変換器を有する走査開始位置信号発生回路と、出力電流を変化させることが可能な定電流源と、該定電流源の出力電流を蓄積する容量と、前記定電流源の出力電流の前記容量への供給を制御する電流供給制御回路とを備える走査信号発生回路と、前記走査開始位置信号発生回路の出力と前記走査信号発生回路の出力を加算する走査信号加算回路と、該走査信号演算回路と前記走査位置信号発生回路の出力を演算する演算回路とを備え、前記電流供給制御回路は、走査距離と走査時間に応じて前記定電流源の出力電流を設定することを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147

FI (5件)：

H01L 21/30 541 Q ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 37/147 C ,  H01L 21/30 541 J

Fターム (14件)：

2H097AA03 ,  2H097BB03 ,  2H097CA07 ,  2H097CA16 ,  2H097EA02 ,  2H097GA43 ,  2H097LA10 ,  5C033GG03 ,  5F056AA07 ,  5F056BD06 ,  5F056CB05 ,  5F056CB15 ,  5F056EA03 ,  5F056EA06