特許
J-GLOBAL ID:200903026045592124
多段式逆浸透システム及びこれを用いた超純水の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-192647
公開番号(公開出願番号):特開平5-309237
出願日: 1992年05月11日
公開日(公表日): 1993年11月22日
要約:
【要約】【目的】本発明は、直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法に関し、特に、半導体製造において必要不可欠な超純水を長期間安定して得ることのできる多段式逆浸透(RO)システムを提供することにある。【構成】直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法において、少なくとも1台の膜モジュールに、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層を有する複合半透膜を用いる。
請求項(抜粋):
直列に連結した複数台の膜モジュールによって液体を膜処理する方法において、少なくとも1台の膜モジュールに、正荷電を持つ重合体が架橋されてなる架橋重合体層を有する複合半透膜を用いることを特徴とする多段式逆浸透システム。
IPC (5件):
B01D 61/08
, B01D 61/58
, B01D 69/02
, B01D 71/82 500
, C02F 1/44
引用特許:
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