特許

J-GLOBAL ID：200903026047833170

超精密微動装置

発明者： 宗片 睦夫 ,  川崎 浩二 ,  小野 昭一
出願人/特許権者： 秩父小野田株式会社
代理人 (1件)： 斎藤 侑 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-037172
公開番号（公開出願番号）：特開平7-241743
出願日： 1994年03月08日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】圧電素子の破損を防止する。【構成】圧電素子1が収納され、かつ、キャップ12と底板4とにより両端を閉鎖された筒体3と;該キャップ12を貫通し、該圧電素子1の先端に接続された出力軸5と;該出力軸5を該底板側に付勢し、該圧電素子1の後端を該底板に圧接する予圧ばね7と;該出力軸5の後端と該圧電素子1の先端との間に設けられ、かつ、半球9と半球受部10とからなる連結手段Jと;該圧電素子1の後端と該底板との間に設けられ、かつ、半球9と半球受部10とからなる連結手段Jと;該筒体3内に嵌着され、かつ、該出力軸5を摺動自在に保持する軸ガイド6と;を備えている。

請求項（抜粋）：

圧電素子が収納され、かつ、キャップと底板とにより両端を閉鎖された筒体と;該キャップを貫通し、該圧電素子の先端に接続された出力軸と;該出力軸を該底板側に付勢し、該圧電素子の後端を該底板に圧接する予圧ばねと;該出力軸の後端と該圧電素子の先端との間に設けられ、かつ、半球と半球受部とからなる連結手段と;を備えていることを特徴とする超精密微動装置。

IPC (6件)：

B23Q 5/28 ,  B23Q 5/22 520 ,  G01B 21/00 ,  G12B 5/00 ,  H01L 41/083 ,  H02N 2/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-165683
  
• 特開昭64-002845
  
• 特開平4-287983
  
• 特開昭62-031182