特許

J-GLOBAL ID：200903026048666897

露光マスク装置

発明者： 田村 哲司
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-214591
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052541
出願日： 1997年08月08日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 高価フィルムマスク描画装置や電子線描画装置を用いることなくマスクやレチクルに相当する機能を有する露光マスク装置を提供すること。【解決手段】 電子化された画像情報を表示させる液晶空間光変調器をホトマスクやレチクルとして用いることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

電子化された画像情報を表示させる液晶空間光変調器をホトマスクやレチクルとして用いることを特徴とする露光マスク装置。

IPC (4件)：

G03F 1/08 ,  G02F 1/13 505 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 1/08 A ,  G02F 1/13 505 ,  H05K 3/00 H ,  H01L 21/30 502 P