特許
J-GLOBAL ID：200903026051064440
フィルムへの孔開け方法及びノズルプレート
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-347845
公開番号（公開出願番号）：特開2000-229413
出願日： 1999年12月07日
公開日（公表日）： 2000年08月22日
要約：
【要約】【課題】 低コストで高精度の孔開けができ、且つインク滴の高精度の吐出を可能とするフィルムへの孔開け方法を提供する。【解決手段】 フィルムに周壁がテーパ状となったテーパ孔を形成する方法であって、前記フィルム12を基板11上に形成するステップと、この基板11上のフィルム12にフォトリソグラフィー法により貫通孔12aを形成するステップと、これを熱処理して前記貫通孔をテーパ孔12bとするステップとを実行する。
請求項（抜粋）：
フィルムに周壁がテーパ状となったテーパ孔を形成する方法であって、前記フィルムを基板上に形成するステップと、この基板上のフィルムにフォトリソグラフィー法により貫通孔を形成するステップと、これを熱処理して前記貫通孔をテーパ孔とするステップとを有するフィルムへの孔開け方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 N
, B05B 1/00 Z
