特許
J-GLOBAL ID:200903026056671603
圧電変換素子及びその製造方法並びに圧電変換素子を使用したアクチエ-タ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
貞重 和生 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-254642
公開番号(公開出願番号):特開2000-077737
出願日: 1998年08月26日
公開日(公表日): 2000年03月14日
要約:
【要約】【課題】 製造が容易な積層型の圧電変換素子及び圧電変換素子の製造方法並びにその圧電変換素子を使用したアクチエ-タを提供する。【解決手段】 2枚の薄板状の圧電素子11及び12の表面にそれぞれ電極11a及び12aを形成し、第1の圧電素子11の表面電極11aの上に第2の圧電素子12を積層し、この積層体を中軸13に巻付けて筒状に構成する。筒状に構成された圧電素子を焼成し、電極11a及び12aにリ-ド線を接続して所定の直流高電圧を印加して分極させ、圧電変換素子10が完成する。中軸としては焼成済みの圧電セラミックスなどを使用することができる。
請求項(抜粋):
表面に電極が形成されたPZT(PbZrO3 ・PbTiO3 )を主成分とする圧電セラミックスからなる薄板状の圧電素子を、中軸の回りに巻き付けて筒状に構成したことを特徴とする圧電変換素子。
IPC (5件):
H01L 41/09
, H01L 41/187
, H01L 41/22
, H02N 2/00
, G05D 3/00
FI (5件):
H01L 41/08 C
, H02N 2/00 B
, G05D 3/00 G
, H01L 41/18 101 D
, H01L 41/22 Z
Fターム (5件):
5H303BB01
, 5H303BB06
, 5H303BB11
, 5H303DD14
, 5H303EE08
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