特許

J-GLOBAL ID：200903026057841022

露光装置

発明者： 宮井 恒夫 ,  馬込 伸貴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-048115
公開番号（公開出願番号）：特開平9-219361
出願日： 1996年02月09日
公開日（公表日）： 1997年08月19日
要約：

【要約】【課題】 スループットを低下させることなく、且つ基板ステージの振動を十分に抑制する。【解決手段】 例えば基板ステージ20Xが露光位置に位置決めされる際に、その位置決めが整定するまでの間のステージ20Xの2次元方向の振動が干渉計30によって計測され、制御手段(図1では図示せず)により干渉計30の計測値とマスクステージ22B及びステージ20X相互間の所定の伝達関数とに基づいてステージ20Xの振動を打ち消すように振動励起手段32が制御される。これにより励起手段32によってステージ20Xの振動を打ち消すようなステージ22Bの2次元方向の振動が励起され、この振動が架台16を介してステージ20Xに伝達され、ステージ20Xの2次元方向の振動が直ちに除去される。

請求項（抜粋）：

感光基板を露光位置に順次位置決めしつつ、マスクに形成されたパターンを投影光学系を介して感光基板上に順次転写する露光装置であって、前記感光基板を載置して2次元方向に移動可能な基板ステージと;前記マスクを保持して前記2次元方向に微小移動可能なマスクステージと;前記基板ステージ及びマスクステージが上下方向に所定間隔を隔てて搭載された架台と;前記基板ステージの前記2次元方向の振動を計測する第1の振動計測手段と;前記マスクステージの前記2次元方向の振動を励起する振動励起手段と;前記第1の振動計測手段の計測値と前記マスクステージ及び前記基板ステージ相互間の所定の伝達関数とに基づいて前記基板ステージの振動を打ち消すように前記振動励起手段を制御する制御手段とを有する露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 503 F ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 516 Z