特許
J-GLOBAL ID：200903026064931886
光導波路デバイス、その製造方法及び基板
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-102278
公開番号（公開出願番号）：特開2003-294965
出願日： 2002年04月04日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：
【要約】【課題】 光導波路積層体上に搭載される光学素子との間で光の入出射を可能とする切り込みが形成された光導波路デバイスであって、基板とクラッドとの境界面で界面剥離が発生しにくい光導波路デバイス、その製法、それに用いる基板を提供する。【解決手段】 基板上に、クラッドとコアを含む光導波路積層体を備え、コアを横切り、且つ基板の法線方向に対して傾斜して切り込みが形成され、コアと切り込みの境界面を反射面としてコアと基板外部との間で光の入出射を可能とする光導波路デバイスにおいて、切り込みの先端部が基板内に侵入し、その周囲領域がクラッドと同一の材料で構成されている光導波路デバイス;基板の、切り込みが形成される位置に凹部を設け、これをクラッドと同一の材料で充填し、次に光導波路積層体を形成し、これに切り込みを形成する工程を含む光導波路デバイスの製法;及び切り込みが形成されるべき位置に凹部を有する基板。
請求項（抜粋）：
基板上に、下部クラッド、コア及び上部クラッドを含む光導波路積層体を設けた光導波路デバイスであって、該コアを横切るように且つ基板の法線方向に対して傾斜して切り込みが形成され、該コアと該切り込みの境界面を反射面として該コアと該基板外部との間で光の入出射を可能とする光導波路デバイスにおいて、該切り込みの先端部が該基板内に侵入し、該基板内に侵入した切り込みの周囲領域が下部クラッドと同一又は類似の材料で構成されていることを特徴とする光導波路デバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
2H037AA01
, 2H037BA01
, 2H037BA11
, 2H037BA21
, 2H037BA31
, 2H037CA36
, 2H037CA38
, 2H037DA02
, 2H037DA06
, 2H047KA02
, 2H047PA02
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047TA31
