特許
J-GLOBAL ID:200903026065777007
圧電センサ素子および加速度検出装置および加速度検出方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-345093
公開番号(公開出願番号):特開2000-171480
出願日: 1998年12月04日
公開日(公表日): 2000年06月23日
要約:
【要約】【課題】 回転加速度(角加速度)と並進加速度を検出する場合、2つの加速度センサを用いると温度差などの周囲環境の影響を受けるため正確に検出できない。【解決手段】 支持体3の両側に一直線上に配置された2つの機械ー電気変換素子1a、1bで構成される圧電センサ素子100を用い、2つの機械ー電気変換素子の出力の符号により回転加速度(角加速度)と並進加速度を識別して検出する。
請求項(抜粋):
機械的振動を電気的出力に変換する圧電センサ素子であって、前記圧電センサ素子は、少なくとも2つの圧電体の貼り合わせ面同士を接合した圧電素子と、前記圧電素子の相対する面の少なくともどちらか一方の中心付近に設けられた支持体と、前記圧電素子の相対する両面上に設けられた電極とからなり、前記両面上の電極は少なくともどちらか一方の中心付近で2つの部分に分離されていることで、前記支持体の両側に機械ー電気変換素子を備えたことを特徴とする圧電センサ素子。
IPC (5件):
G01P 15/09
, G01P 15/00
, H01L 41/08
, H01L 41/09
, H03H 9/02
FI (5件):
G01P 15/09
, G01P 15/00
, H03H 9/02 Z
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/08 M
Fターム (7件):
5J108AA09
, 5J108BB01
, 5J108CC01
, 5J108FF03
, 5J108JJ01
, 5J108KK01
, 5J108KK07
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