特許

J-GLOBAL ID：200903026067414874

マイクロミラーとその製法

発明者： 中嶋 敏博
出願人/特許権者： ヤマハ株式会社
代理人 (1件)： 伊沢 敏昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-055563
公開番号（公開出願番号）：特開2004-264656
出願日： 2003年03月03日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：

【課題】光ファイバ等の光部品と組合せて用いるに好適な小型で寸法精度及び位置決め精度が高いマイクロミラーとその製法を提供する。【解決手段】Ni-Fe合金等の金属製のマイクロミラー10は、90度等の内角θを有する角部14Aを形成するように一体をなすミラー部12a,12bと、これらのミラー部を平面上で角部14Aが突出する状態で支持すべくミラー部12a,12bとそれぞれ一体をなす平坦部16a,16bとを備え、平坦部16aには位置決め孔18a,18cが、平坦部16bには位置決め孔18b,18dがそれぞれ設けられている。位置決め孔は、平坦部16a又は16bに複数設けるかあるいは平坦部16a,16bにそれぞれ1以上設ければよい。各位置決め孔を実装基板上で対応する位置決めピンに嵌合させてマイクロミラーの位置決めを行なう。マイクロミラー10は、選択メッキ処理により寸法精度良く製作できる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光反射性の金属からなるマイクロミラーであって、 180度より小さい内角を有する角部を形成するように一体をなす第1及び第2のミラー部と、 前記第1及び第2のミラー部を平面上で前記角部が突出する状態で支持すべく前記第1及び第2のミラー部とそれぞれ一体をなす第1及び第2の平坦部と を備えたマイクロミラー。

IPC (1件)：

G02B5/08

FI (2件)：

G02B5/08 C ,  G02B5/08 A

Fターム (9件)：

2H042DA01 ,  2H042DA03 ,  2H042DA07 ,  2H042DA10 ,  2H042DA19 ,  2H042DA20 ,  2H042DC00 ,  2H042DC09 ,  2H042DD01