特許

J-GLOBAL ID：200903026071210990

メッキ治具

発明者： 山崎 文宏 ,  北郷 秀紀 ,  江尻 雅彦
出願人/特許権者： 富士電気化学株式会社
代理人 (1件)： 岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-205134
公開番号（公開出願番号）：特開平10-046394
出願日： 1996年08月05日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、ウェハを着脱可能であって電気メッキにより均一な薄膜を形成するメッキ治具に関し、接点によるウェハへの電流供給を止め、ウェハの全周から均一に電流供給を行って電気メッキで形成する薄膜の厚さの均一性を向上させることを目的とする。【解決手段】 ウェハの外周の全面に接触する主電極板と、この主電極板をウェハの外周の全面に均一に接触させるための収縮する絶縁板と、この絶縁板の上に設け、ウェハ上に均一厚さの薄膜を形成するための補助電流分布を形成する補助電極板と、ウェハと絶縁板との間に圧縮方向の力を加えてウェハの外周の全周で接触させるウェハ押え板とから構成したメッキ治具である。

請求項（抜粋）：

ウェハを着脱可能であって電気メッキにより均一な薄膜を形成するメッキ治具において、ウェハの外周の全面に接触する主電極板と、この主電極板を上記ウェハの外周の全面に均一に接触させるための収縮する絶縁板と、この絶縁板の上に設け、上記ウェハ上に均一厚さの薄膜を形成するための補助電流分布を形成する補助電極板と、上記ウェハと上記絶縁板との間に圧縮方向の力を加えてウェハの外周の全周で接触させるウェハ押え板とから構成したメッキ治具。

IPC (3件)：

C25D 17/08 ,  G11B 5/31 ,  G11B 5/39

FI (4件)：

C25D 17/08 R ,  C25D 17/08 Q ,  G11B 5/31 M ,  G11B 5/39