特許

J-GLOBAL ID：200903026071787340

異物検査装置

発明者： 杭谷 哲也 ,  狩野 英司 ,  蛸島 武尚
出願人/特許権者： 株式会社アドバンテスト
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-026850
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221269
出願日： 1997年02月10日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】 異物の位置、サイズ、成分、形状の情報を全て管理し、簡便に表示する異物検査装置および製造工程での異物情報を容易に把握できる異物検査装置システムを提供する。【解決手段】 搭載された検査対象物であるウェーハ14を二次元で移動させ、位置情報を外部に出力する移動ステージ12と、被検査面上の異物の有無と異物の大きさとを、異物から反射された電磁波によって検知し、大きさを含む異物の情報を外部に出力するレーザ発信器16および光検出器18と、異物の組成を検出し成分情報を外部に出力する走査型電子銃20およびエネルギー分散型X線分析器22と、異物の形状を測定して画像情報として外部に出力する2次電子検出器24と、出力された各情報を記憶して、情報を処理し、所望の形態で外部に表示する情報処理表示手段26〜34とを具備する。

請求項（抜粋）：

検査対象物の被検査面の異物を検出する異物検査装置であって、搭載された前記検査対象物を二次元で移動させ、位置情報を外部に出力する検査対象物移動手段と、前記被検査面上の前記異物の有無と異物の大きさとを、異物から散乱された電磁波によって検知し、大きさを含む異物の情報を外部に出力する異物検出手段と、前記異物の組成を検出し成分情報を外部に出力する成分分析手段と、出力された各前記情報を記憶して、情報を処理し、所望の形態で外部に表示する情報処理表示手段と、を具備することを特徴とする異物検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 ,  G01N 23/225 ,  G01N 37/00 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01N 21/88 E ,  G01N 23/225 ,  G01N 37/00 F ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/66 L