特許

J-GLOBAL ID：200903026075987514

光学的三次元形状測定装置および測定方法

発明者： 久保山 隆志 ,  鈴木 亮祐 ,  金丸 孝夫
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 関 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-090537
公開番号（公開出願番号）：特開2004-294390
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月21日
要約：

【課題】揺動ミラーによりレーザスポット光を走査しながら計測対象の断面形状を測定する構成の形状測定装置において、光学系の誤差などに起因する計測値のずれを補正してオンライン測定を可能とする簡便な手法を提供する。【解決手段】誤差演算部を付属して、較正作業によりレーザスポット光の走査方向に生じる角度誤差を検出距離の関数として求めておいて、対象物の測定時に1次元光センサの出力をこの関数に基づいて補正する。誤差補正関数は、較正作業において算出された角度誤差を回帰分析により装置からの距離を変数とする3次式で近似して得た関数であってもよい。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

レーザ放射装置と1次元光センサとスキャニング機構を備え、該スキャニング機構は揺動ミラーを備え前記レーザ放射装置からのレーザスポット光を対象に導いて走査し該対象から反射するレーザスポット光を前記1次元光センサに導く形状測定装置において、さらに補正演算装置を備えて、前記走査方向に生じる角度誤差を検出距離の関数として記憶しておいて、対象物の測定をするときに前記1次元光センサの出力を該関数に基づいて補正することを特徴とする光学的三次元形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B11/24

FI (1件)：

G01B11/24 A

Fターム (18件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA31 ,  2F065AA53 ,  2F065EE00 ,  2F065FF09 ,  2F065FF41 ,  2F065FF65 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ25