特許

J-GLOBAL ID：200903026078889289

偏光による測定方法及び装置

発明者： 呉 俊傑 ,  王 淑霞
出願人/特許権者： 中華民國行政院國家科學委員會
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-185920
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063525
出願日： 1991年04月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 この発明は偏光による超高精密な距離の測定方法と装置に関する。【構成】 一つの同調光束を相互垂直の2偏光束に分離し、その一光束を参照ビーム、他の一光束を測定ブームとし、測定ビームが被測定サンプルを経過した後再び測定ビームと参照ビームとを一光束に合成して、1/4波長プレート及び回転するリニア・ポラライザーの様な光学系によって測定ビームと参照ビームの位相差を測定表示する事により、被測定サンプルの厚さ又は移動距離の光程差を検出する事を特徴とする偏光による測定方法と装置。

請求項（抜粋）：

一つの同調光束を相互垂直の2偏光束に分離し、その一光束を参照ビーム、他の一光束を測定ビームとし、測定ビームが被測定サンプルを経過した後再び測定ビームと参照ビームとを一光束に合成して、1/4波長プレート及び回転するリニア・ポラライザーの様な光学系によって測定ビームと参照ビームの位相差を測定表示する事により、被測定サンプルの厚さ又は移動距離の光程差を検出する事を特徴とする偏光による測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/06 ,  G01B 11/00 ,  G02B 27/26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-186104
  
• 特開昭58-139006