特許

J-GLOBAL ID：200903026087107048

静電容量の調整方法および調整装置

発明者： 米山 勝廣
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-149865
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340454
出願日： 1999年05月28日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】キャパシタを基板上に形成した後にその静電容量を精度よく効率的に調整することが可能なキャパシタの静電容量の調整方法およびその装置を提供する。【解決手段】回路基板10上に一対の電極18、20が対向するように形成されたキャパシタ17の静電容量の調整方法において、上側の電極20をレーザ光を照射してトリミングし、所定の形状で一定の面積のトリミング部25を形成するとともに、その個数を調整することによって静電容量の調整を行なう。

請求項（抜粋）：

基板上に一対の電極が対向するようにして形成されたキャパシタの静電容量の調整方法において、前記一対の電極の内の一方の電極を予め面積が決定された所定の形状に1回または複数回トリミング加工することにより他方の電極との間の対向面積を減少させて容量値を調整することをと特徴とする静電容量の調整方法。

IPC (4件)：

H01G 4/255 ,  B23K 26/00 ,  C23F 1/02 ,  H01G 13/00 331

FI (4件)：

H01G 4/34 ,  B23K 26/00 C ,  C23F 1/02 ,  H01G 13/00 331 C

Fターム (23件)：

4E068AC01 ,  4E068DA09 ,  4K057WA11 ,  4K057WB01 ,  4K057WB08 ,  4K057WN01 ,  4K057WN02 ,  5E082AB03 ,  5E082BC12 ,  5E082DD02 ,  5E082EE04 ,  5E082EE23 ,  5E082EE35 ,  5E082EE41 ,  5E082EE42 ,  5E082FG03 ,  5E082FG26 ,  5E082FG27 ,  5E082KK01 ,  5E082MM05 ,  5E082MM21 ,  5E082MM32 ,  5E082PP08