特許

J-GLOBAL ID：200903026099147223

焼結体ターゲツトの製造方法

発明者： 阿部 知行
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-233528
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070804
出願日： 1991年09月13日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 焼結体ターゲットに関し、組成ずれが少なく、高密度なターゲットを形成することを目的とする。【構成】 ターゲットを構成する複数の材料粉末を秤量し混合して後、この粉末を焼結装置の型に入れ、電極を備えたカーボン製のパンチで上下より加圧し圧粉しながら電極間に高周波のパルス電圧を印加して粉体面を活性化した後、電極間に直流電圧を印加して加熱し、通電焼結を行うことを特徴として焼結体ターゲットの製造方法を構成する。

請求項（抜粋）：

ターゲットを構成する複数の材料粉末を秤量し混合して後、該粉末を焼結装置の型に入れ、電極を備えたカーボン製のパンチで上下より加圧し圧粉しながら該電極間に高周波のパルス電圧を印加して粉体面を活性化した後、該電極間に直流電圧を印加して加熱し、通電焼結を行うことを特徴とする焼結体ターゲットの製造方法。