特許

J-GLOBAL ID：200903026108424278

遠隔ガス濃度測定方法及びその装置

発明者： 酒井 克巳
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-290770
公開番号（公開出願番号）：特開平10-132737
出願日： 1996年10月31日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 誤差の多少大きな測定装置を用いても低濃度ガスの濃度を測定できる遠隔ガス濃度測定方法及びその装置を提供する。【解決手段】 ガス信号成分に依存しない基準ガス信号の値に応じて、レーザ光の駆動電流に変調周波数の2倍の周波数の交流電流を重畳し、その交流電流の振幅と位相とを増幅移相器210で制御することにより、ノイズ成分Nが減少すると共に、測定レンジ変更による誤差をなくすことができる。すなわち、ガス信号成分Gを誤差成分E1 、E2 に対して大きくすることにより、低濃度のガスをより正確に測定することができる。従って、誤差の多少大きな測定装置を用いても低濃度のガスを正確に測定することができる。

請求項（抜粋）：

駆動電流及び温度に応じた波長及び強度のレーザ光を発振するレーザを用い、所定の電流値を中心として駆動電流を変化させることによりレーザ光の波長及び強度を変調し、その変調されたレーザ光を測定対象としてのガス雰囲気中に通して得られる透過光の強度を検出し、得られた検出信号中の特定成分を位相敏感検波して得られるガス信号よりガス濃度を求める遠隔ガス濃度測定方法において、検出すべきガスを検出用ガスセルに収容し、基準用のガスを基準用ガスセルに収容し、変調周波数の2倍の周波数の交流電流を重畳した駆動電流に応じたレーザ光を両ガスセルに通して両透過光の強度を検出すると共に、上記交流電流の振幅と位相とを制御することにより検出信号中のノイズ成分を減少させるようにしたことを特徴とする遠隔ガス濃度測定方法。