特許

J-GLOBAL ID：200903026125122005

化学物質の検出方法およびそのためのセンサ

発明者： ヤング・サー・チャン ,  キーナン・エル・エバンス
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 本城 雅則 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-057186
公開番号（公開出願番号）：特開平9-329576
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1997年12月22日
要約：

【要約】【課題】 類似の化学種間の識別が可能で、検出可能な濃度範囲を拡張した方法およびセンサを提供する。【解決手段】 センサ(10)は、チャネル領域(34)を覆うゲート電極(20)を含む。ゲート電極(20)とチャネル領域(34)との間のギャップ(22)によって、ゲート電極(20)の表面(28)を化学物質に露出させる。化学物質に露出させると、ゲート電極(20)の表面電位または電気的インピーダンスが変化する。表面電位の変化を電気的インピーダンスの変化と比較することによって、類似した化学種間の識別を行い、しかもセンサ(10)の検出範囲を拡張する方法が得られる。

請求項（抜粋）：

化学物質の検出方法であって:感応物質(20)を用意する段階;前記感応物質(20)の表面電位を検出する段階;前記感応物質(20)の電気的インピーダンスを検出する段階;および前記表面電位を前記電気的インピーダンスと比較して、前記化学物質の存在を判定する段階;から成ることを特徴とする方法。

IPC (3件)：

G01N 27/414 ,  G01N 27/12 ,  G01N 27/27

FI (4件)：

G01N 27/30 301 X ,  G01N 27/12 A ,  G01N 27/30 301 E ,  G01N 27/46 A