円柱体の検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-146808
公開番号（公開出願番号）：特開平8-015162
出願日： 1994年06月28日
公開日（公表日）： 1996年01月19日
要約：

【要約】【目的】反射率の悪いペレットの外観検査を正確かつ高速で行う。【構成】ペレットPの周面を回転ローラ20に押圧して回転可能に支持する。ペレットPの端面及び周面に対向してレーザ変位計からなる端面検査用センサ26,26と周面検査用センサ35を往復走査可能に配置し、スポット光を被検面に当て、反射光を受光して被検面までの距離に関する変位情報と受光量情報を得る。演算手段48で変位情報と受光量情報に基づき、ペレットPの回転情報と各センサの走査位置情報をパラメータとして、変位情報及び受光量情報から面情報及び外形情報を得る。そして、判別手段51で、両情報を補完的に用いて、ペレット表面欠陥の有無を判別する。

請求項（抜粋）：

円柱体を回転手段によって回転可能に支持し、回転する円柱体の外観形状を検査するようにした円柱体の検査装置において、光を円柱体の被検面に照射する発光部と、該被検面で反射した光を受光する受光部とを有していて、被検面から受光部までの距離の変位に関する変位情報と、被検面からの反射光の光量に関する受光量情報とを検出するセンサと、該センサで得られた変位情報及び受光量情報に基づいて円柱体の面情報及び外形情報を演算する演算手段と、この演算手段で得られた面情報及び外形情報に基づいて円柱体の形状の欠陥の有無を判別する判別手段と、を有することを特徴とする検査装置。

IPC (4件)：

G01N 21/88 , G06T 7/00 , G06T 1/00 , G21C 17/06

FI (3件)：

G06F 15/62 400 , G06F 15/64 C , G21C 17/06 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-226696
特開昭53-125057
特開昭62-038348

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