特許

J-GLOBAL ID：200903026136486467

乾燥処理用リンス液、該乾燥処理用リンス液を用いた乾燥処理方法および該乾燥処理方法を用いた微小構造体の製造方法

発明者： 白川 幸彦 ,  佐藤 美穂子
出願人/特許権者： ティーディーケイ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-288397
公開番号（公開出願番号）：特開平10-135180
出願日： 1996年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：

【要約】【課題】 サンプルを破壊するようなことがない歩留まりのよい乾燥処理方法であり、製造上の実用性から考えて、作業が簡単で特殊な設備を必要としない簡便な乾燥処理方法を提供し、そのような乾燥処理方法を利用することで、微細加工の歩留りが上げる。【解決出段】 20 °Cにおいて固体であり、かつ該温度における蒸気圧が0.05 mmHg以上8 mmHg以下の有機化合物であることを特徴とする乾燥処理用リンス液を用いて、歩留りがよく簡便で低コストな乾燥処理方法を提供し、この乾燥処理方法を利用したエッチング方法、さらには、このエッチング方法を用いた微小構造体の製造方法を提供するものである。

請求項（抜粋）：

乾燥処理を行うために用いられる乾燥処理用リンス液であって、20 °Cにおいて固体であり、かつ、該温度における蒸気圧が0.05 mmHg以上8 mmHg以下の有機化合物であることを特徴とする乾燥処理用リンス液。

IPC (3件)：

H01L 21/304 361 ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/308

FI (3件)：

H01L 21/304 361 V ,  G03F 7/32 501 ,  H01L 21/308 G